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BPS-300微電子潔凈泵 最大流量:58 lpm / 15.3 gpm 最大壓差:2.5 bar / 36.2 psi 最高液體溫度:70° C / 158° F 濕料:PFA, PTFE
微電子無軸承泵 最大流量:21 lpm / 5.5 gpm 最大壓差:2.6 bar / 37.7 psi 最高液體溫度:90° C / 194° F 濕料:PFA, PTFE
微電子濕制程應用超潔凈無軸承泵 最大流量:20 lpm / 5.3 gpm 最大壓差:2 bar / 29 psi 最高液體溫度:70° C / 158° F 濕料:PFA
BPS-i30 HP微電子無軸承泵 最大流量:3.8 lpm / 1 gpm 最大壓差:2.8 bar / 40 psi 最高液體溫度:70° C / 158° F 濕料:PTFE
BPS-i30 HF微電子無軸承泵 最大流量14.7 lpm / 3.9 gpm 最大壓差1.1 bar / 16 psi 最高液體溫度70° C / 158° F 濕料PTFE
BPS-i30微電子泵專門設計用于微電子濕制程應用中特定液體的超純處理?;谥鲃哟艖腋?,泵葉輪被電機磁場懸浮起來,并受其驅動。
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